量产型纳米压印设备

Classification：设备

Specifications：GD-2C-N-R300

Release time：2022-08-17

Visits：12329

Consultation details

Product overview：

型号：GD-2C-N-R300

设备性能：

12英寸晶圆及以下兼容

晶圆预清洗，匀胶，及冷热板功能

全自动晶圆传送

全自动柔性模板制作及自动压印工艺流程

最低线宽小于20nm

压印深宽比至10:1

兼容高刻蚀比压印胶压印

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